KOSAKA臺階儀ET10000薄膜測厚儀

簡要描述：KOSAKA臺階儀ET10000薄膜測厚儀臺階儀對應(yīng)大面積樣品段差測定的全自動機(jī)型。

● 機(jī)臺尺寸可根據(jù)樣品/工件尺寸訂制。

● 針對生產(chǎn)線全自動大型工件開發(fā)，可搭配機(jī)械手臂自動進(jìn)退樣品。

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KOSAKA臺階儀ET10000薄膜測厚儀產(chǎn)品概述：

● 對應(yīng)大面積樣品段差測定的全自動機(jī)型。

● 機(jī)臺尺寸可根據(jù)樣品/工件尺寸訂制。

● 針對生產(chǎn)線全自動大型工件開發(fā)，可搭配機(jī)械手臂自動進(jìn)退樣品。

高精度．安定性．機(jī)能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀、段差、粗度測定的機(jī)型。

● 是多機(jī)能的全自動微細(xì)形狀測定機(jī)，針對用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇。

● ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。

● ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測定機(jī)。

● ET4000L一對應(yīng)大型工件的全自動微細(xì)形狀測定機(jī)。

● ET4300一適合12"樣品測量。

臺階儀/膜厚儀ET4000系列產(chǎn)品參數(shù)

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